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无油分子泵机组的设计计划

无油分子泵机组的设计计划
正常分子泵机组的设计是单气路,如图4所示。作业内中是:①启动前级电泵P2使真空室内气体通过联接管路&mdash;分子泵&mdash;联接管路&mdash;电泵,而后排到大气。②当分子泵前级达成分子泵启动压强时启动分子泵,真空室内气体同样通过联接管路&mdash;分子泵&mdash;联接管路&mdash;电泵,而后排到大气。在前中①中,分子泵没有启动,仅起到一个管路的作用,但因为分子泵存在多层涡轮型叶片的简单构造,增大了电泵的流阻,同声也就注定增多了抽气工夫。而关于前级是有油旋片泵的分子泵机组,分子泵的这种构造起到挡油作用,大大缩小了电泵的返油。有油分子泵机组上的分子泵须要定计荡涤就是所以某个起因。
图4 单气路联接分子泵机组示用意
关于本套机组而言,那末采纳正常气路设计计划,在干泵粗抽时,气体要先通过两个构造简单、流阻大的分子泵能力排到大气,关于较大的零碎采纳这种计划抽气工夫较长,是不行取的。咱们充足利用干泵不会对真空零碎造成油净化的长处,又利用1By6型干泵的大抽速性能,对原有气路增多了一套旁路(见图5),作业内中是:①开启阀门V1、V2,启动干泵P3,开启低真空计G2,抽除真空室及两个分子泵中的气体;②当低真空计G2的批示达成100Pa时,开放阀门V2,启动牵引分子泵P2,开启真空计G1;③待达成ATP100的启动压强后,开启涡轮分子泵P1。
图5 带旁路分子泵机组气路示用意
泵间配总计算
白文以N2为例继续划算,通过图5中带旁路设计的作业内中①②,依据图2(P2的抽速曲线),可划算最大排器量为Q=300Pa&middot;L/s,又依据P2的最大出气口压力务求,可划算出P2需前级泵的抽速S干&gt;0.075L/s;由干泵抽速曲线图3①可知,干泵不仅能满足务求而且有很大的剩余。开启冷规,当冷规激起并作业畸形后,此时真空度进入0.1Pa便启动涡轮分子泵P1,再依据P1的抽速曲线划算出最大排器量为Q=9Pa&middot;L/s,再由P1最大出气口压力务求划算出牵引分子泵抽速S牵分&gt;0.9L/s。从牵引分子泵抽气曲线能够得悉牵引分子泵抽速满足务求但剩余不大。
联接管路、仪器支架的设计及取舍
依据泵间配合的划算串联合BEPC的理论状况设计了联接管路及仪器支架,其特点重要体现在以次两个上面。
①两个分子泵及其电源、高真空计及规管装置在一个仪器推车上,干泵装置在另一个仪器车上,两车就位后用涟漪管(两端快卸卡箍)联接。那样就防止了干泵运行时的强烈震撼莫须有分子泵及真空计作业。另外由划算知,干泵作牵引分子泵前级抽速剩余较大,涟漪管上的抽速破财不会对机组运行造成太大莫须有。
②充足利用两分子泵体积小、分量轻、装置位置灵敏的长处,使涡轮分子泵正向垂直装置,牵引分子泵反向垂直装置。那样就能够升高机组的高低且仪器推车的打造也绝对容易。因为牵引分子泵作涡轮分子泵的前级抽速剩余不大,因而两泵之间用适当尺寸的三通联接(其中一通为检漏仪预留),那样能够缩小管路上的抽速破财。
下结论:
经过正当的设计联接,最大限度地施展了各泵的长处,使联接后的机组失去很好的运用。另外,因为干泵耐可凝性气体的威力较差,在运用中要留神荡涤原来运用过有油电泵的被抽室。当干泵抽过定然单位曾裸露过湿度较高的大气的被抽室,干泵的极限真空就会上升。当这种状况产生时,咱们经过试验下结论出一个教训,克服了泵室中的潮气子含量较高的问题,普及了泵的极限真空。因而,那末有条件的话,毁坏真空时最好对被抽室充干涩氮气。那末高真空泵为冷凝泵就会大大缩小这种状况。

 

 

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